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中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪/片托吸盘配件

更新时间:2026-01-08

简要描述:

中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪
        > 基片尺寸φ5-φ100mm圆片、100x100mm2方片 
        > 转速:250-9000转/分 
        > 特点: 任意阶段之间均可任意升降调节 
        > 转速稳定度:<±1%,胶的均匀性<±1% 
        > 匀胶阶段:6段 
        > 匀胶时间:每个阶段0-1800S可调 
        > 电机功率:40W 
        > 整机尺寸(长宽高):210mm×280mm×248mm 
        > 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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