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中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm

更新时间:2026-01-08

简要描述:

        中科院微电子研究所KWD大型台式匀胶机/旋涂仪200-600mm

       > 参数:手动旋钮控制 
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圆片、500x500mm2方片 
        > 转速:200-2000转/分 
        > 显示转速稳定度:±1,胶的均匀性±5% 
        > 匀胶阶段:2段 
        > 匀胶时间:3-60s可调 
        > 电机功率:320W 
        > 仪器尺寸:980mmx855mmx855mm 
        > 适用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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