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微电子研究所KW-5型台式匀胶机/旋涂仪100-200mm

更新时间:2026-01-08

简要描述:

微电子研究所KW-5型台式匀胶机/旋涂仪100-200mm

 参数:

手动旋钮控制 

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       > 基片尺寸φ100-φ200mm圆片(4英寸~8英寸) 
        > 显示转速稳定度:±1%,胶的均匀性±5% 
        > 转速:500-5000转/分 
        > 匀胶阶段:2段 
        > 匀胶时间:Ⅰ速0~18S,;Ⅱ速0~60S 
        > 电机功率:180W 
        > 整机尺寸(长宽高):425mmx500mmx300mm 
        > 适应用材料:硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料

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