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中科院微电子研究所KW-5型匀胶机/旋涂仪

更新时间:2020-01-31

简要描述:

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。

品牌其他品牌价格区间1-5万
产地类别国产应用领域生物产业,电子,航天

中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

技术参数及要求:变频调速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
转速:500-5000 转/分
转速稳定性:±1%
旋涂均匀性:±5%
旋涂工艺阶段:2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
整机尺寸(长宽高):425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸(长宽高):425mm×500mm×190mm
电机功率:180W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

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